每日經(jīng)濟新聞 2023-02-16 16:28:41
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司驗證的Arf光刻膠是用在多少制程工藝的？
上海新陽（300236.SZ）2月16日在投資者互動平臺表示，ArF光刻膠可用于90nm-14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝。
(記者 王可然)
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