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上海新陽:ArF光刻膠可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝

每日經(jīng)濟新聞 2023-02-16 16:28:41

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司驗證的Arf光刻膠是用在多少制程工藝的?

上海新陽(300236.SZ)2月16日在投資者互動平臺表示,ArF光刻膠可用于90nm-14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝。

(記者 王可然)

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