每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問：21年3月芯刻微購買，用于研發(fā)分辨率達(dá)28nm ArF濕法光刻膠的ASMLXT1900Gi型二手光刻機(jī)安裝調(diào)試是否完成？這臺光刻機(jī)價值多少? 另外28nm ArF濕法光刻膠研發(fā)進(jìn)展如何是否有送樣客戶端驗(yàn)證？

上海新陽（300236.SZ）8月19日在投資者互動平臺表示，公司采購的ASMLXT1900Gi型光刻機(jī)尚處于調(diào)試狀態(tài)；ArF浸沒式光刻膠產(chǎn)品已有樣品在測試階段。

(記者 陳鵬程)

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