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萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉(zhuǎn)化應(yīng)用取得新進(jìn)展

2023-11-08 14:08:27

每經(jīng)AI快訊,中國航天科技集團(tuán)發(fā)布消息,九院704所完成了萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制。萬分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術(shù)指標(biāo)比傳統(tǒng)應(yīng)變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個(gè)數(shù)量級(jí),且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點(diǎn),技術(shù)指標(biāo)、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性均達(dá)到國際先進(jìn)水平。目前,該產(chǎn)品已應(yīng)用于航天發(fā)動(dòng)機(jī)壓力監(jiān)測(cè)、航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)等領(lǐng)域。(每日經(jīng)濟(jì)新聞)

責(zé)編 姚祥云

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