每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司海納股份（873995）新增專(zhuān)利信息，專(zhuān)利權(quán)人為海納股份，發(fā)明人是張慶旭、吳雄杰、余天威、白超、聶早早、王志雄、徐暉、代明明、劉偉、徐佳俊。專(zhuān)利授權(quán)日為2023年6月23日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種低壓氣相沉積用硅片載舟”，專(zhuān)利類(lèi)型為中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202223166032.8。

該專(zhuān)利摘要顯示：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種低壓氣相沉積用硅片載舟，包括舟體和靠板，舟體包括支架、下刻槽石英棒、與下刻槽石英棒相連的左刻槽石英棒、右刻槽石英棒，靠板尺寸小于加工硅片尺寸，其外形為等邊三棱柱。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)臥式低壓氣相爐沉積過(guò)程中硅片“背靠背”生長(zhǎng)，極大的提高了加工效率，硅片傾斜放置可以避免生長(zhǎng)多晶硅膜一面與石英舟的直接接觸，略小于加工硅片的尺寸可以減少在沉積后取樣過(guò)程中對(duì)多晶硅薄膜的物理破壞。本實(shí)用新型具有使用效果好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉之優(yōu)點(diǎn)。

(記者 曾健輝)

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