每日經(jīng)濟新聞 2023-07-31 13:29:01
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問老師，從理論上講，光柵尺是否可以用于DUV光刻機呢？高精尺和超精尺理論上講是否可以EUV光刻機呢？
奧普光電（002338.SZ）7月31日在投資者互動平臺表示，理論上講，超精尺可以應(yīng)用于DUV或者EUV光刻機。
(記者 蔡鼎)
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