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上海新陽:光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)屬于光刻膠配套材料,公司處于實驗室研發(fā)階段

每日經濟新聞 2023-05-10 21:20:23

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:年報顯示上海新陽集成電路制造用高端光刻膠系列產品為公司面向芯片制造領域開發(fā)的電子光刻系列產品。包括 I 線光刻膠、KrF 光刻膠、ArF 干法、浸沒式光刻膠以及稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)等配套材料。 請問:光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)是否為完成研發(fā)新產品?

上海新陽(300236.SZ)5月10日在投資者互動平臺表示,光刻膠稀釋劑、底部抗反射膜(BARC)屬于光刻膠配套材料,公司處于實驗室研發(fā)階段。

(記者 畢陸名)

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