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中微公司擴(kuò)充業(yè)務(wù)產(chǎn)品線，推出12英寸薄膜沉積設(shè)備

2023-05-09 18:03:14

5月9日消息，中微公司宣布推出自主研發(fā)12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex CW，在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率，預(yù)計(jì)新產(chǎn)品將有助于公司業(yè)務(wù)多元化增長。（每經(jīng)）

責(zé)編 陳鵬程

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