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我國(guó)稀貴金屬濺射靶材制備已打破國(guó)外壟斷

2018-12-04 11:18:16

據(jù)云南省科技廳近日消息,云南省貴金屬材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)團(tuán)隊(duì)在主任胡昌義帶領(lǐng)下,開(kāi)展電子信息產(chǎn)業(yè)用稀貴金屬濺射靶材的關(guān)鍵制備技術(shù)及工程化應(yīng)用研究,成功制備鎳鉑(NiPt)、鈷鉻鉑硼(CoCrPtB)等靶材和釕(Ru)、鈷鉻鉑二氧化硅(CoCrPt-SiO2)靶。研發(fā)成果申請(qǐng)專利25件,授權(quán)11件,制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng),發(fā)表論文66篇,榮獲2018年中國(guó)有色金屬工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。據(jù)預(yù)測(cè),未來(lái)5年,世界濺射靶材的市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)160億美元。此次我國(guó)稀貴金屬濺射靶材制備問(wèn)世,國(guó)內(nèi)濺射靶材企業(yè)的成長(zhǎng)空間被打開(kāi)。(觀察者網(wǎng))

責(zé)編 馬銳

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