每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：28nm的明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備國(guó)內(nèi)是否有其他廠(chǎng)商目前已經(jīng)有能力生產(chǎn)交付？謝謝。

天準(zhǔn)科技（688003.SH）9月6日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，近日，天準(zhǔn)科技參股的蘇州矽行半導(dǎo)體覆蓋65-90nm節(jié)點(diǎn)的明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備正式交付客戶(hù)試用，28nm節(jié)點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備正在研發(fā)中。

(記者 尹華祿)

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